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光刻机/四川成都重庆北京

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光刻机/四川成都重庆北京

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当  前  价： 面议
最小起订量： 面议 供货总量： 不限
发  货  期： 面议
公司所在地： 四川 成都市
发布日期： 2008-4-22 15:37:02
有 效 期： 2009-4-22 15:37:02


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成都鑫南光机械设备有限公司
经营模式： 生产型
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我们供光刻机/四川成都重庆北京
成都鑫南光机械设备有限公司专业提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机；在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台)；在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备；在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己独特的专长
主要技术指标：
1、本机采用双面对准单面曝光方式。
2、基片X、Y、θ对准工作台，X、Y移动：±5mm，θ转角≤±5°。
3、基片与掩膜对准精度（包括与记忆图形的对准精度）≤0.001mm。
4、板架来回翻转重复精度≤0.004mm。
5、采用蝇眼曝光头，曝光面积：≤Φ100mm，光的不均匀性：≤±4%，光强可调，350W直流汞灯。
6、适用于Φ4″、Φ3″、Φ2″基片，配有三种不同的承片台和相对应的板架。
7、显微系统放大倍数：51～32


 
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任 先生 (职员)
联系电话：86#028#85730431
移动电话：
传 真：86#028#85730520
E-mail：x.n.g#163.com  (请将邮箱中的“#”换为“@”)
通讯地址：四川 成都 蛟龙工业港双流园区(610200)
企业商铺： http://xng85730.battery.com.cn
企业网站：http://www.xng8.com
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